国家智能传感器创新中心建设的国内首条12英寸先进传感器中试线成功通线
2021-06-30 16:41:55 来源:北京商报
6月30日，据国家智能传感器创新中心官微消息，由国家智能传感器创新中心建设的国内首条12英寸先进传感器中试线成功通线。
该中试线以国产设备为主，具备晶圆键合、晶圆减薄、干湿法刻蚀、物理和化学气相沉积、原子层沉积、化学机械研磨、湿法清洗、自动化量测等先进传感器和晶圆级3D集成技术的核心工艺能力，同时为国产装备提供验证平台，加速先进传感器产业链国产化，实现自主可控。
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